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1、可以采用HF作為清洗石英管試劑，當然也可以使用鹽酸石英舟、硝酸或其他組合酸，酸的濃度控制在5%以下，並配戴化學防護用品操作；
2、嚴格控制酸的濃度及時間，防止石英管洗過了(即失透)或者清洗不干淨，因此，每8小時檢測一下酸的濃陶瓷度是必要的。
石英 3、洗淨石英管的水必須是經過提純的去離子水，石英表面清洗不干淨容易產生析晶或石英管者酸霧，影響石英管的透過率；
4、當然含有酸液的廢水不能直接排放，簡易的方法是采用塑料管道集中收集這些廢水，然後加入液體(或固體)堿中和，達到環保要求後才可以排放。
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